
Ø 主要特点:高循环寿命(>109次)、高动态响应(亚毫秒级)、高精度(亚纳米级)、高居里温度(300℃)、驱动电压:-20~﹢120V。
Ø 主要应用领域:半导体设备、光学、科学研究等。
Ø 技术参数:
型号 | 长x宽 | 高 | 位移 | 推力 | 静态电容 | 刚度 | 谐振频率 |
单位 | mmxmm±0.1 | mm±0.05 | μm±10% | N±10% | nF±10% | N/μm±10% | kHz±10% |
PZ-A-3-3-2 | 3x3 | 2 | 2.3 | 350 | 85 | 150 | 500 |
PZ-A-5-5-2 | 5x5 | 2 | 2.3 | 1000 | 240 | 430 | 500 |
PZ-A-7-7-2 | 7x7 | 2 | 2.3 | 2000 | 500 | 860 | 500 |
PZ-A-10-10-2 | 10x10 | 2 | 2.3 | 4000 | 1000 | 1730 | 500 |
PZ-A-14-14-2 | 14x14 | 2 | 2.3 | 7500 | 1960 | 3260 | 500 |
PZ-A-20-20-2 | 20x20 | 2 | 2.3 | 16000 | 4000 | 6950 | 500 |
注:单片型方形压电陶瓷驱动器的高可以定制2mm、3mm和4mm;导线可以选择焊接或者不焊接,长度为150mm的红蓝导线,红色为正极,蓝色为负极;位移和推力均为0~120V电压空载下测试数值。