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单片型方形压电陶瓷驱动器
    发布时间: 2024-06-03 13:50    

主要特点:高循环寿命(>109次)、高动态响应(亚毫秒级)、高精度(亚纳米级)、高居里温度(300℃)、驱动电压:-20~﹢120V。

单片型方形压电陶瓷驱动器

Ø 主要特点:高循环寿命(>109次)、高动态响应(亚毫秒级)、高精度(亚纳米级)、高居里温度(300℃)、驱动电压:-20~120V

Ø 主要应用领域:半导体设备、光学、科学研究等。

Ø 技术参数:

 

型号

x宽

位移

推力

静态电容

刚度

谐振频率

单位

mmxmm±0.1

mm±0.05

μm±10%

N±10%

nF±10%

N/μm±10%

kHz±10%

PZ-A-3-3-2

3x3

2

2.3

350

85

150

500

PZ-A-5-5-2

5x5

2

2.3

1000

240

430

500

PZ-A-7-7-2

7x7

2

2.3

2000

500

860

500

PZ-A-10-10-2

10x10

2

2.3

4000

1000

1730

500

PZ-A-14-14-2

14x14

2

2.3

7500

1960

3260

500

PZ-A-20-20-2

20x20

2

2.3

16000

4000

6950

500

注:单片型方形压电陶瓷驱动器的高可以定制2mm3mm4mm;导线可以选择焊接或者不焊接,长度为150mm的红蓝导线,红色为正极,蓝色为负极;位移和推力均为0~120V电压空载下测试数值。


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